国产涂胶显影机首入高校实验室 半导体装备国产化迈出关键一步

导语

近日，广东工业大学“全自动涂胶显影机采购项目”公布招标结果，国产半导体设备厂商芯米（厦门）半导体设备有限公司成功中标。此次采购的涂胶显影机将用于该校集成电路工艺实验室，标志着国产半导体装备在核心工艺环节首次通过高校科研级验证，为产业链自主化进程注入新动能。

中标事件详情

据广州市国科招标代理有限公司发布的中标通知书显示，此次采购项目采用公开招标形式，芯米半导体凭借技术方案与综合实力脱颖而出。中标设备为1台全自动涂胶显影机，将用于广东工业大学助力半导体工艺研发与人才培养。广东工业大学项目组负责人表示，设备交付后将为学校科研提供关键技术支持。

行业意义：国产替代加速，技术自主性提升

涂胶显影机是芯片制造前道工艺的核心设备，其功能是在硅片表面均匀涂布光刻胶并完成显影，直接影响光刻精度与良率。过去，该设备市场长期被东京电子（TEL）、迪恩士（SCREEN）等国际企业垄断，国内厂商市占率不足10%。芯米半导体的中标，标志着国产设备在精度、稳定性等核心指标上已达到高校科研级要求。行业分析人士指出，高校作为技术创新的源头，其采购选择具有风向标意义，此举或推动更多国内产线尝试国产设备，加速产业链“补短板”进程。当前，中国半导体产业正面临国际供应链变局，实现关键设备自主可控成为战略重点。芯米半导体的突破，不仅填补了国内细分领域空白，也为中小型半导体设备企业参与高端市场竞争提供了范本。

政策赋能：国家战略驱动半导体装备国产化

此次中标背后，离不开国家政策对半导体产业的强力支持。“十四五”规划明确提出，要集中突破集成电路装备等关键核心技术，强化政府采购对自主创新产品的扶持。《中华人民共和国政府采购法》及配套法规亦强调优先采购国产设备，推动“国产替代”从政策导向转化为市场实践。业内人士认为，高校与科研机构率先采用国产设备，既是响应政策号召，也为后续大规模产业化应用积累数据与经验，形成“研发-应用-优化”的良性循环。

芯米半导体：技术创新驱动发展的“隐形冠军”

此次中标的国产设备厂商成立于2019年，为国内少数具备涂胶显影机量产能力的企业之一。公开资料显示，其公司此前已在国内多家晶圆厂实现涂胶显影机的量产并取得重复订单，其产品在均匀性、耗材成本等指标上具备竞争优势。此次中标高校项目，进一步验证了其技术实力。公司负责人张经理表示：“高校客户对设备的精度和稳定性要求极高，此次合作是对我们技术路线的肯定。未来将持续加大研发投入，助力国产半导体装备迈向高端。”

展望：产学研协同助推产业升级

广东工业大学此次采购的涂胶显影机将被纳入“集成电路工艺实验教学与创新平台”，该平台包含光刻、镀膜、刻蚀等18类设备，构建了完整的芯片制造教学链。“高校实验室是国产设备的‘第一战场’。”微电子领域教授指出，“学生通过国产设备掌握核心技术，未来进入产业界后将形成更广泛的替代需求。”

结语

国产涂胶显影机进入高校实验室，看似微小，却是半导体装备自主化进程的重要里程碑。当政策扶持、技术攻坚与市场需求形成合力，国产设备正从“可用”向“好用”迈进。或许不久的将来，这些从实验室走出的“中国制造”，将成为支撑产业链安全的核心力量。